根据管路通径、系统整体尺寸以及真空腔体接口标准,选择对应外径规格,不同规格适用场景差异明显。
ICF34 为小型标准法兰,整体体积小巧,适配细管径真空管路,多用于实验室小型真空装置、分析检测仪器、微型镀膜设备、管路分支接口等空间紧凑、通流量较小的系统,是小型超高真空设备的主流选型。
ICF70 为中号主力规格,通用性最强,兼顾通径大小与安装便捷性,广泛应用于常规真空镀膜机、中小型半导体工艺设备、真空热处理设备、科研实验腔体等绝大多数工业及实验室场景,也是管路转接、设备主接口最常用的规格。
ICF114、ICF152 等大尺寸法兰,对应大口径真空管道,通流能力更强,主要搭配大型真空腔体、高抽速真空机组、连续化量产型工业真空设备、大型镀膜生产线使用,适用于大流量气体输送、大容积腔体抽真空的工况。
选型时需优先核对设备原有接口、对接管件的法兰外径,保证规格完全统一,确保元件之间正常互换装配。