日本ADVANTEC爱德万泰克真空元件ICF小型法兰ICF34-H的技术特点

日本 ADVANTEC 爱德万泰克 ICF34-H 小型固定法兰 技术特点

一、全金属刀口密封结构,超高真空级密封性能
采用 ICF 标准全金属刀口密封设计,型号后缀 “H” 代表无旋转固定法兰结构,属于刚性一体式设计,无活动间隙,从根本上消除了潜在泄漏路径。密封端面经过超高精度加工,形成锐利且均匀的刀口,安装时通过螺栓均匀预紧挤压无氧铜密封垫,使铜垫发生塑性变形,实现永久的金属 - 金属密封。其标准泄漏率可达 1.33×10⁻¹¹ Pa・m³/s 以下,能够稳定维持 10⁻⁹ Pa 量级的超高真空环境,完全满足半导体、真空镀膜等对真空度要求极高的场景需求。
二、低碳不锈钢材质,低放气率与高耐腐蚀性
默认采用 SUS304L 低碳不锈钢材质,也可根据用户需求提供 SUS316L 不锈钢版本。低碳成分设计有效避免了焊接及高温烘烤过程中碳化物的析出,杜绝晶间腐蚀风险,保障法兰在长期高温、真空环境下的结构稳定性。同时,不锈钢材质本身具有极低的放气率,表面不易吸附和释放气体,能显著减少真空系统内的气源干扰,助力系统快速抽至极限真空状态。
三、高精度加工与电解抛光工艺,保障性能与互换性
法兰的密封面、刀口、螺栓孔均采用高精度数控加工,严格遵循 ICF 国际标准公差,确保与同规格 ICF 法兰、管件、阀门等元件的完美互换性,无需额外适配即可直接安装使用。关键密封面还经过电解抛光处理,大幅降低表面粗糙度,减少表面微孔隙与污染物残留,从源头降低放气率与气体吸附,提升真空系统的极限性能与清洁度,尤其适配对颗粒污染敏感的半导体制造场景。
四、耐高温烘烤性能,适配高要求除气工艺
配合无氧铜密封垫使用时,该法兰可承受最高 450℃的高温烘烤工艺。这对于去除真空腔体内表面吸附的水汽、碳氢化合物等残留气体至关重要,能显著缩短系统抽真空的时间,同时避免有机密封材料在高温下分解挥发污染真空环境,适配需要定期烘烤除气的超高真空系统。
五、一体式固定结构,长期稳定性与通用性强
采用无旋转的一体式固定结构,消除了旋转部件之间的配合间隙,结构刚性更强,在长期振动、冷热循环工况下,能始终保持连接的牢固性与密封性能,减少后期维护成本。同时,作为 ADVANTEC ICF 小型法兰系列的基础型号,它支持多种通孔内径衍生规格,可直接与不同管径的真空管道焊接或配套连接,无需定制加工,大幅提升系统搭建的通用性与灵活性。

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