D6F-A7D MEMS流量传感器的特点

空气用、流量范围 70L/min。利用数字校正，实现高精度

测量精度高：采用温差检测方式，可实现 ±3% F.S. 的高精度传感，还可通过 ASIC 的线性温度补偿实现 ±3% RD 的高精度测量。

温度特性好：受温度的影响小，无需进行温度补偿即可测量质量流量，温度特性可达 ±3% F.S。

响应速度快：能优化质量流量的高速响应性，输出达到 ±3% F.S 只需 20ms。

功耗较低：采用热电堆方式，为热电动势输出方式，功耗低于电阻式。

防尘性强：采用旋风方式，提升了耐尘性能。

适用性广：可用于液化气、空气和城市燃气等多种类型流体的流量测量，测量范围从 0.1L/min-70L/min，可应用于堵塞检测、燃烧控制、流量测量、风量检测等多种场合。

稳定性好：具有优秀的长期稳定性，能够有效保证测量精度。

安装便捷：采用插入式设计，安装方便，无需对管道进行改造。

体积小巧：作为 MEMS 传感器，具有微型化的特点，尺寸小，便于集成到各种设备中。