测量范围：±2.5mm。
最大允许扫描探测误差：MPETHP≤2.0µm（使用 CRYSTA-Apex S700/900 机型及 ø8×60mm 测针时）。
刻度分辨率：＜0.02µm。
弹簧刚度：约 1.8N/mm。
最大测针长度：水平及垂直方向均可支持至 500mm，部分应用场景下经特殊配置可搭载长达 1000mm 的测针。
最大测针质量：500g。
最大追踪速度：采用已知几何形状扫描模式时可达 120mm/s。
适配长测针高精度测量：轴套式安装，并运用数字栅尺、读数头技术及独立光学测量原理，能直接测量整个机构的偏移情况，规避堆叠轴误差，即使搭配 1000mm 的长测针或星形测针配置，也可保障高精度。
支持快速测针更换：借由 SCP80 测针交换端口与 SH80 测针架，可与模块化更换架系统（MRS）对接实现测针自动交换，优化生产效率。且测针重复定位精准，更换后常无需重新校准。
具备碰撞保护功能：可分离测针吸盘具备 XY 碰撞保护功能，同时 Z 向设有碰撞紧急停设置，可防止测头因意外碰撞而损坏。
可借由 UCC2 SP80 插卡直接整合系统。或使用雷尼绍 PCI 计数卡（CC6）加细分盒装置（IU80）组合，此外，也兼容与 IU80 适配的 OEM 定制接口卡等。
